[实用新型]一种高效散热的LTCC基板微流道结构有效
| 申请号： | 201521074972.1 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205385017U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 孔季 | 申请（专利权）人： | 南京熊猫电子股份有限公司;南京熊猫通信科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 210002 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效散热的LTCC基板微流道结构，其属于电子芯片制造领域。该高效散热的LTCC基板微流道结构包括基板，所述基板具有上表面和下表面，在基板的上表面上设有微流道，所述微流道为单层连续螺旋型结构，在微流道的两端分别设有注入口和流出口，所述注入口至流出口之间设有流动的冷却剂；其中所述基板采用LTCC材质制作，基板的尺寸为40mm*40mm，厚度大约1.5mm。微流道横截面为0.2mm*0.2mm，且微流道位于所述基板1内部中心位置20mm*20mm处。本实用新型具有散热性能好、温升小、温度分布均匀的优点，并且随着芯片发热其功率增加缓慢，适用于大规模集成电路的散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 散热 ltcc 基板微流道 结构 | ||
【主权项】：
一种高效散热的LTCC基板微流道结构，其特征在于：包括基板，所述基板具有上表面和下表面，在基板的上表面上设有微流道，所述微流道为单层连续螺旋型结构，在微流道的两端分别设有注入口和流出口，所述注入口至流出口之间设有流动的冷却剂。
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