[实用新型]一种具有衬套的坩埚有效
| 申请号： | 201520991820.1 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN205194673U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 何胜;李波;杨凯;徐洲;张永;张双翔 | 申请（专利权）人： | 扬州乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C14/30;H01L33/00 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种具有衬套的坩埚，属于半导体发光器件的生产技术领域，特别是涉及真空电子束蒸发设备的制作技术。本实用新型在埚体内设置由底座和侧壁组成的衬套，在衬套的底座的外表面开设与底座同心的圆柱体凹槽，衬套的侧壁与埚体内表面之间设置间距。本实用新型减小了衬套与埚体的接触面积，使源团的热量不容易散失，蒸镀所需的功率降低，镀率的均匀性得到改善，波动减小。最终ITO薄膜的镀膜致密性更好，质量得到提高，做成LED芯片的电压更低、亮度更高。此方法简单易行，成本低，便于生产使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 衬套 坩埚 | ||
【主权项】：
一种具有衬套的坩埚，包括埚体，在埚体内设置由底座和侧壁组成的衬套，其特征在于在衬套的底座的外表面开设与底座同心的圆柱体凹槽，衬套的侧壁与埚体内表面之间设置间距。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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