[实用新型]蒸镀机的喷嘴系统有效
申请号: | 201520964646.1 | 申请日: | 2015-11-26 |
公开(公告)号: | CN205133726U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 张珅骏;朱晓庆 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种蒸镀机的喷嘴系统,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;安装于容纳腔内的气压传感器;布设于喷嘴周围、用于熔融喷嘴内堵塞的蒸镀材料的、受气压传感器控制电路通断的防堵塞加热器,在本申请提供的实施例中,当喷嘴发生堵塞时,气压传感器控制防堵塞加热器熔融喷嘴内堵塞的蒸镀材料,从而可以解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀机 喷嘴 系统 | ||
【主权项】:
一种蒸镀机的喷嘴系统,其特征在于,包括:具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具;布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器;安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴;安装于容纳腔内的气压传感器;布设于喷嘴周围、用于熔融喷嘴内堵塞的蒸镀材料的、受气压传感器控制电路通断的防堵塞加热器。
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