[实用新型]蒸镀机的喷嘴系统有效
| 申请号： | 201520964646.1 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN205133726U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张珅骏;朱晓庆 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀机 喷嘴 系统 | ||
1.一种蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，包括：
具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具；
布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器；
安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴；
安装于容纳腔内的气压传感器；
布设于喷嘴周围、用于熔融喷嘴内堵塞的蒸镀材料的、受气压传感器控制 电路通断的防堵塞加热器。
2.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述载具为坩 埚；
所述坩埚包括坩埚主体和坩埚盖；
所述气压传感器安装于坩埚盖内壁。
3.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述蒸镀机的 喷嘴系统还包括逻辑控制器；
所述气压传感器和防堵塞加热器与逻辑控制器电性连接，并受逻辑控制器 控制。
4.如权利要求3所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述蒸镀机的 喷嘴系统还包括报警器；
所述报警器与逻辑控制器电性连接，用于在气压超过预设阈值时发出警报。
5.如权利要求3所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述载具具有 初始状态位置和工作状态位置；
载具的位置由逻辑控制器控制；
当发生堵塞时，逻辑控制器将载具从工作状态位置复位到初始状态位置。
6.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述防堵塞加 热器为电阻加热、感应加热、电弧加热、电子束加热、红外线加热和介质加热 中的至少一种。
7.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述防堵塞加 热器为电阻线圈；
所述电阻线圈缠绕于喷嘴周围。
8.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述气压传感 器的耐高温指标高于400℃。
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