[实用新型]一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮

摘要

一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，包括花篮本体、卡槽单元和支架单元，花篮本体上设置有卡槽单元，每个卡槽单元设置有两个沟槽，两个沟槽之间设置有将其隔开的挡板；花篮本体的底部设置有支撑柱；花篮本体上设置有支架单元。放置在两个沟槽内的两个光刻胶剥离芯片的剥离面相背，并由挡板将两个芯片隔开。该花篮可以有效提高芯片光刻胶剥离面液体流动空间，防止剥离下来的薄膜丝在片间有限空间的试剂溶液中缠绕漂荡而导致出现芯片界面污染、划蹭等问题，同时降低了剥离不净的质量问题，有效提高超声剥离效果，在保证生产效率的前提下，提高了光刻胶剥离质量。

主权项

一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，包括花篮本体、卡槽单元和支架单元，其特征是，花篮本体上设置有卡槽单元，每个卡槽单元设置有两个沟槽，两个沟槽之间设置有将其隔开的挡板；花篮本体的底部设置有支撑柱；花篮本体上设置有支架单元。