[实用新型]一种生长氮化铝单晶用坩埚有效

专利信息
申请号: 201520941670.3 申请日: 2015-11-24
公开(公告)号: CN205223407U 公开(公告)日: 2016-05-11
发明(设计)人: 刘京明;杨俊;刘彤;董志远;赵有文 申请(专利权)人: 北京华进创威电子有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/38
代理公司: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 代理人: 尹振启
地址: 101111 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种生长氮化铝单晶用坩埚,该坩埚包括坩埚盖、坩埚筒和导流环;其中,坩埚盖下表面设置有下凸台;导流环为上大下小的梯形圆环;下凸台下表面的边缘与导流环的上沿间隙配合;坩埚筒内表面设置有托起导流环的凸起,导流环的下沿与凸起间隙配合;下凸台和导流环的侧面均与坩埚筒的内表面间隙配合;坩埚盖、导流环和坩埚筒由上到下依次连接构成坩埚。本申请提供一种新型的坩埚结构,该坩埚更有利于在高温下,氮化铝单晶的形核和晶体的生长。
搜索关键词: 一种 生长 氮化 铝单晶用 坩埚
【主权项】:
一种生长氮化铝单晶用坩埚,其特征在于,所述坩埚包括坩埚盖、坩埚筒和导流环;其中,所述坩埚盖下表面设置有下凸台;所述导流环为上大下小的梯形圆环;所述下凸台下表面的边缘与所述导流环的上沿间隙配合;所述坩埚筒内表面设置有托起导流环的凸起,导流环的下沿与所述凸起间隙配合;所述下凸台和导流环的侧面均与所述坩埚筒的内表面间隙配合;所述坩埚盖、导流环和坩埚筒由上到下依次连接构成所述坩埚。
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