[实用新型]一种生长氮化铝单晶用坩埚有效
申请号: | 201520941670.3 | 申请日: | 2015-11-24 |
公开(公告)号: | CN205223407U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 刘京明;杨俊;刘彤;董志远;赵有文 | 申请(专利权)人: | 北京华进创威电子有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/38 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 101111 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种生长氮化铝单晶用坩埚,该坩埚包括坩埚盖、坩埚筒和导流环;其中,坩埚盖下表面设置有下凸台;导流环为上大下小的梯形圆环;下凸台下表面的边缘与导流环的上沿间隙配合;坩埚筒内表面设置有托起导流环的凸起,导流环的下沿与凸起间隙配合;下凸台和导流环的侧面均与坩埚筒的内表面间隙配合;坩埚盖、导流环和坩埚筒由上到下依次连接构成坩埚。本申请提供一种新型的坩埚结构,该坩埚更有利于在高温下,氮化铝单晶的形核和晶体的生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 氮化 铝单晶用 坩埚 | ||
【主权项】:
一种生长氮化铝单晶用坩埚,其特征在于,所述坩埚包括坩埚盖、坩埚筒和导流环;其中,所述坩埚盖下表面设置有下凸台;所述导流环为上大下小的梯形圆环;所述下凸台下表面的边缘与所述导流环的上沿间隙配合;所述坩埚筒内表面设置有托起导流环的凸起,导流环的下沿与所述凸起间隙配合;所述下凸台和导流环的侧面均与所述坩埚筒的内表面间隙配合;所述坩埚盖、导流环和坩埚筒由上到下依次连接构成所述坩埚。
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