[实用新型]用于硅片的湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种能够使喷管各处的气刀吹力均匀一致的用于硅片的湿法刻蚀设备。该用于硅片的湿法刻蚀设备，包括机体，所述机体上设置有输送滚轮，在输送滚轮的下方沿硅片的移动方向依次设置有刻蚀槽、碱洗槽、清洗槽、干燥槽，干燥槽内设置有多个气刀发生装置，气刀发生装置包括喷管，喷管朝向硅片的表面沿轴向方向开有气刀缝隙，喷管上连接有进气管，进气管与喷管之间设置有多个具有锥形夹层空间的锥形布气板，进气管内的压缩空气先经过锥形布气板，可以使喷管内各处的基本气压均匀一致，进而喷管各处的气刀吹力也均匀一致，这样便可以保证所有硅片表面的小水珠都能被吹干净，不会对后续生产造成影响。适合在太阳能电池生产领域推广应用。

主权项

用于硅片的湿法刻蚀设备，包括机体(1)，所述机体(1)上设置有用于输送硅片的输送滚轮(2)，在输送滚轮(2)的下方沿硅片的移动方向依次设置有刻蚀槽(3)、碱洗槽(4)、清洗槽(5)、干燥槽(6)，所述干燥槽(6)内设置有多个气刀发生装置(19)，多个气刀发生装置(19)分别设置在硅片的上下两侧，所述气刀发生装置(19)包括喷管(191)，所述喷管(191)的两端密封，所述喷管(191)水平设置且垂直于硅片的移动方向，所述喷管(191)朝向硅片的表面沿轴向方向开有气刀缝隙(192)，所述喷管(191)上连接有进气管(193)，进气管(193)的另一端连接有空气压缩机(194)，所述空气压缩机(194)与进气管(193)之间设置有气体加热装置(195)，其特征在于：所述进气管(193)与喷管(191)之间设置有多个具有锥形夹层空间的锥形布气板(196)，所述锥形夹层空间的小径端与进气管(193)连通，所述锥形夹层空间的大径端与喷管(191)连通，所述多个锥形布气板(196)的大径端依次首尾相连固定在喷管(191)上。