[实用新型]一种运载料装置以及密闭设备

摘要

本实用新型公开了一种运载料装置及密闭设备，运载料装置包括载台和吸附装置；其中，载台上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位及第二工位，第一工位用于放置载料盘，第二工位用于放置承载单元；吸附装置设置于载台的上方，用于吸附载料盘并将载料盘放置于承载单元上与承载单元配合形成用于容纳料片的密闭空间；镀膜完成后，吸附装置将载料盘吸起并将载料盘放置于第二工位与承载单元配合形成密闭空间，在此过程中，吸附装置不与料片直接接触，避免破坏镀膜，最后，直接将载料盘与承载单元构成的组合体取出放入下一制程即可，在此过程中，组合体保护料片免于氧化及杂质污染，在不影响制程的同时，提高镀膜的品质及性能。

主权项

一种运载料装置，其特征在于，包括：载台(1)，所述载台(1)上具有复数个数量相同且相互间隔设置的第一工位以及第二工位，其中，所述第一工位用于放置载料盘(2)，所述第二工位用于放置承载单元(3)，所述载料盘(2)能够与所述承载单元(3)配合形成用于容纳料片的密闭空间；以及吸附装置(7)，设置于所述载台(1)的上方，所述吸附装置(7)用于从所述第一工位吸附所述载料盘(2)并将所述载料盘(2)放置于所述第二工位上的所述承载单元(3)上，以使所述载料盘(2)与所述承载单元(3)配合形成所述密闭空间。