[实用新型]金属有机化学气相沉积电阻加热器

摘要

本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积电阻加热器，其包括：四层环形金属板，上下平行设置，分别具有对应的沿螺旋线排列的若干圆孔，自上而下分别为第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定组件和若干定位件连接固定；一加热体，包括呈螺旋线状铺设在所述第一反射板上的加热线圈，所述加热线圈由穿设在所述若干圆孔中的若干支撑件支撑；所述第一反射板分为三段，在剧烈的高低温变化下也不易变形，所述金属有机化学气相沉积电阻加热器的使用寿命得以有效延长。

主权项

一种金属有机化学气相沉积电阻加热器，其包括：四层环形金属板，上下平行设置，分别具有对应的沿螺旋线排列的若干圆孔，自上而下分别为第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定组件和若干定位件连接固定；一加热体，包括呈螺旋线状铺设在所述第一反射板上的加热线圈，所述加热线圈由穿设在所述若干圆孔中的若干支撑件支撑；其特征在于，所述第一反射板分为三段。