[实用新型]硅片花篮夹持翻转装置有效
申请号: | 201520694886.4 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN204946870U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 陈宏 | 申请(专利权)人: | 张家港市超声电气有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 孙万玲 |
地址: | 215618 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种硅片花篮夹持翻转装置,包括设置在机架上的升降机构、设置在升降机构上的翻转机构、设置在翻转机构上的夹持机构,升降机构包括第一直线气缸和第二直线气缸,第一直线气缸的缸筒固定安装在机架上,第一直线气缸的活塞杆上安装有一个能够随其移动的移动架,第二直线气缸的缸筒固定安装在移动架上,第一直线气缸的活塞杆的延伸方向与第二直线气缸的活塞杆的延伸方向相平行;翻转机构包括铰接在移动架上的摆臂,摆臂的一端铰接在第二直线气缸的活塞杆上;夹持机构包括设置在摆臂的另一端的用于抓取硅片花篮的夹具。采用全自动的机械结构代替人工操作,降低操作人员劳动强度的同时,提高了工作效率,并能够降低错放的概率。 | ||
搜索关键词: | 硅片 花篮 夹持 翻转 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片花篮夹持翻转装置,其特征在于:包括设置在机架上的升降机构、设置在所述的升降机构上的翻转机构、设置在所述的翻转机构上的夹持机构,所述的升降机构包括第一直线气缸和第二直线气缸,所述的第一直线气缸的缸筒固定安装在机架上,所述的第一直线气缸的活塞杆上安装有一个能够随其移动的移动架,所述的第二直线气缸的缸筒固定安装在所述的移动架上,所述的第一直线气缸的活塞杆的延伸方向与所述的第二直线气缸的活塞杆的延伸方向相平行;所述的翻转机构包括铰接在所述的移动架上的摆臂,所述的摆臂的一端铰接在所述的第二直线气缸的活塞杆上;所述的夹持机构包括设置在所述的摆臂的另一端的用于抓取硅片花篮的夹具。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造