[实用新型]硅片花篮夹持翻转装置有效
申请号: | 201520694886.4 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN204946870U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 陈宏 | 申请(专利权)人: | 张家港市超声电气有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 孙万玲 |
地址: | 215618 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 夹持 翻转 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种硅片花篮夹持翻转装置,特别是,涉及一种能够将硅片花篮翻转90°的夹持翻转装置。
背景技术
现有太阳能硅片花篮在插片机上完成作业后,花篮的搁放状态时水平方向的,这样的状态不能满足花篮进入清洗程序的位置和方向的要求,此时,需要人工实时将其翻转90°,造成人工劳动强度较大,同时也易出现错放的情况。
实用新型内容
针对上述存在的技术不足,本实用新型的目的是提供一种硅片花篮夹持翻转装置,其采用全自动结构对花篮进行90°翻转,大大降低了操作人员的劳动强度,同时,机械动作更可靠,降低错放的概率。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种硅片花篮夹持翻转装置,包括设置在机架上的升降机构、设置在所述的升降机构上的翻转机构、设置在所述的翻转机构上的夹持机构,所述的升降机构包括第一直线气缸和第二直线气缸,所述的第一直线气缸的缸筒固定安装在机架上,所述的第一直线气缸的活塞杆上安装有一个能够随其移动的移动架,所述的第二直线气缸的缸筒固定安装在所述的移动架上,所述的第一直线气缸的活塞杆的延伸方向与所述的第二直线气缸的活塞杆的延伸方向相平行;所述的翻转机构包括铰接在所述的移动架上的摆臂,所述的摆臂的一端铰接在所述的第二直线气缸的活塞杆上;所述的夹持机构包括设置在所述的摆臂的另一端的用于抓取硅片花篮的夹具。
优选地,所述的第一直线气缸的活塞杆、所述的第二直线气缸的活塞杆均沿竖直方向延伸。
优选地,所述的夹具的下方对应设置有用于传送硅片花篮的传送机构,所述的移动架具有第一位置和第二位置,当所述的移动架处于第一位置时,所述的移动架处于远离所述的传送机构的位置;当所述的移动架处于第二位置时,所述的移动架处于靠近所述的传送机构的位置;所述的摆臂具有第一位置和第二位置,当所述的摆臂处于第一位置时,所述的夹具面向所述的传送机构;当所述的摆臂处于第二位置时,所述的夹具平行于所述的传送机构,处于第二位置的所述的摆臂为处于第一位置的所述的摆臂向下翻转90°后的状态;所述的第二直线气缸的活塞杆具有伸出位置和缩进位置,当该活塞杆处于伸出位置时,所述的摆臂处于第一位置;当该活塞杆处于缩进位置时,所述的摆臂处于第二位置。
优选地,所述的摆臂呈S型。
优选地,所述的夹具包括固定安装在所述的摆臂上的连接座、安装在所述的连接座上的能够相互靠近或相互远离的两个夹块。
进一步优选地,两个所述的夹块的相对的侧壁上分别设置有防滑沟槽。
本实用新型的有益效果在于:本设计采用全自动的机械结构代替人工操作,降低操作人员劳动强度的同时,大大提高了工作效率,并能够降低错放的概率,适于在硅片生产领域推广应用。
附图说明
附图1至附图4为本实施例的硅片花篮夹持翻转装置对花篮进行夹持翻转的过程示意图(部分透视)。
附图中:10、机架;20、第一直线气缸;30、第二直线气缸;231、缸筒;232、活塞杆;40、移动架;50、摆臂;60、花篮;70、夹具;701、连接座;702、夹块;80、传送机构。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型作以下详细描述:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造