[实用新型]一种硅片气相沉积用舟桨设备

摘要

本实用新型涉及一种硅片气相沉积用舟桨设备，包括舟桨本体、与舟桨本体连接的推送杆，推送杆连接在滑动箱上，滑动箱侧面设有丝杠套，丝杠套与设置在机架上的传动丝杠配合，传动丝杠与设置在机架的马达驱动连接，滑动箱与设置在机架上的滑轨配合，舟桨本体上设有开口向上的滑孔，滑孔内设有挡块，挡块底部与舟桨本体之间设有复位弹簧，复位弹簧用于将挡块顶部顶出舟桨，挡块朝向舟桨本体头部一侧为斜面，斜面延伸至滑孔内，挡块朝向舟桨尾部一侧为竖直面。本实用新型利用伸缩的挡块以及挡块前面的斜面，在石墨舟放错位置时，挡块在斜面受力挤压下缩回，防止撞伤电极及石墨舟；通过传动丝杠驱动舟桨本体运动，传动平稳。

主权项

一种硅片气相沉积用舟桨设备，其特征在于，包括舟桨本体、与所述舟桨本体连接的推送杆，所述推送杆连接在滑动箱上，所述滑动箱侧面设有丝杠套，所述丝杠套与设置在机架上的传动丝杠配合，所述传动丝杠与设置在机架的马达驱动连接，所述滑动箱与设置在机架上的滑轨配合，所述舟桨本体上设有开口向上的滑孔，所述滑孔内设有挡块，所述挡块底部与所述舟桨本体之间设有复位弹簧，所述复位弹簧用于将所述挡块顶部顶出舟桨，所述挡块朝向舟桨本体头部一侧为斜面，所述斜面延伸至滑孔内，所述挡块朝向舟桨尾部一侧为竖直面。