[实用新型]一种紧凑灵活型齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件

摘要

本实用新型公开一种紧凑灵活型齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件，其特征在于，包括：P衬底；第一NW阱区，N-扩散区，第一N+扩散区，第一SP扩散区；ZP扩散区，第二N+扩散区，第二SP扩散区；第二NW阱区，第三N+扩散区，第三SP扩散区；第三NW阱区，以及第四N+扩散区。本实用新型能够减小ESD器件的面积和电容，更加适应目前高频集成电路的发展，拓宽ESD保护器件的应用范围，提高ESD器件的制造灵活性，降低生产成本。

主权项

一种紧凑灵活型齐纳二极管触发SCR的ESD保护器件，其特征在于，包括：P衬底；第一NW阱区，设置于所述P衬底中的最左侧；N‑扩散区，设置于所述第一NW阱区中；第一N+扩散区，设置于所述N‑扩散区中；第一SP扩散区，设置于所述第一NW阱区中；ZP扩散区，设置于所述P衬底中，且位于所述第一NW阱区右侧；第二N+扩散区，设置于所述ZP扩散区中；第二SP扩散区，设置于所述ZP扩散区和所述P衬底中；第二NW阱区，设置于所述P衬底中，且位于所述ZP扩散区右侧；第三N+扩散区，设置于所述第二NW阱区中；第三SP扩散区，设置于所述P衬底中，且位于所述第二NW阱区右侧；第三NW阱区，设置于所述P衬底中的最右侧；以及第四N+扩散区，设置于所述第三NW阱区中；其中，所述第一SP扩散区和所述第三N+扩散区作为所述ESD保护器件的I/O端，所述第二SP扩散区、所述第三SP扩散区和所述第四N+扩散区作为所述ESD保护器件的GND端，所述第一N+扩散区和所述第二N+扩散区相连接；所述第一SP扩散区和所述第一N+扩散区之间的所述第一NW阱区上方设置有第一绝缘体，所述第一N+扩散区和所述第二N+扩散区之间的所述P衬底上方设置有第二绝缘体，所述第二N+扩散区和所述第二SP扩散区之间的所述ZP扩散区上方设置有第三绝缘体，所述第二SP扩散区和所述第三N+扩散区之间的所述P衬底上方设置有一第四绝缘体，所述第三N+扩散区和第三SP扩散区所述之间的所述P衬底上方设置有第五绝缘体，所述第三SP扩散区和所述第四N+扩散区之间的所述P衬底上方设置有一第六绝缘体。