[实用新型]一种安全节能的非晶锗硅成膜设备

摘要

一种安全节能的非晶锗硅成膜设备，包括带有出气三通阀的反应腔室、用于分类储存并输送原料气至所述反应腔室的特气柜、用于使所述反应腔室形成真空环境的真空处理装置、用于排出所述反应腔室废气的尾排装置和用于稀释所述尾排装置中的尾气的稀释装置，还包括用于使所述稀释装置与所述尾排装置的工作状态同步配合的联动控制开关。本实用新型结构紧凑、使用方便、设计合理，相对以往设备能够节省大量的保护气，并能消除连带安全隐患，保护设备部件，减少运维成本，使生产环境更加安全高效。

主权项

一种安全节能的非晶锗硅成膜设备，包括带有出气三通阀（11）的反应腔室（1）、用于分类储存并输送原料气至所述反应腔室（1）的特气柜（010）、用于使所述反应腔室（1）形成真空环境的真空处理装置、用于排出所述反应腔室（1）废气的尾排装置和用于稀释所述尾排装置中的尾气的稀释装置，其特征在于：还包括用于使所述稀释装置与所述尾排装置的工作状态同步配合的联动控制开关。