[实用新型]具有补温导流筒的单晶炉有效
| 申请号： | 201520162401.7 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN204570091U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 高文秀;赵百通;李帅 | 申请（专利权）人： | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 214213 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有补温导流筒的单晶炉，包括炉体，所述炉体中设有容纳硅液的石英坩埚，所述石英坩埚的侧面设有第一加热器，所述石英坩埚上方设有可供单晶棒穿过的导流筒，所述导流筒的底部设有第二加热器；所述第二加热器包括设于导流筒底部的环形石墨块，所述导流筒包括隔热毡，所述隔热毡的内侧为环形石墨板，所述隔热毡内侧的环形石墨板与导流筒底部的环形石墨块一体相连，所述环形石墨板和环形石墨块分为两块并与外接电极块相连。本实用新型通过在导流筒的底部设置第二加热器，从而能够对单晶硅棒内的温度梯度及硅液中心区域的温度实现稳定、精确的控制，解决了硅液中心温度控制难的问题，并可大大减少能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导流 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种具有补温导流筒的单晶炉，包括炉体(7)，所述炉体(7)中设有容纳硅液的石英坩埚(6)，所述石英坩埚(6)的侧面设有第一加热器(8)，其特征在于，所述石英坩埚(6)上方设有可供单晶棒(1)穿过的导流筒，所述导流筒的底部设有第二加热器(2)。
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