[实用新型]生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块

摘要

本实用新型公开了一种生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，包括沉积炉的炉体，炉体顶壁的吊盘上设有排气口，还包括顶壁下方的阶梯型上行外齿套，顶壁中央设有竖向的旋转轴，旋转轴下部圆周外侧套接于阶梯型上行外齿套的竖向中轴线上，旋转轴下端的圆周外侧通过锁紧螺母与阶梯型上行外齿套的下端固定连接；旋转轴圆周外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级旋转杆、二级旋转杆和三级旋转杆。本实用新型能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量；并且旋转的能耗低、结构简单，工作成本和后期维护成本低，工作稳定高效。

主权项

生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体的顶壁为吊盘，吊盘上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，其特征在于，还包括顶壁下方的阶梯型上行外齿套，顶壁中央设有竖向的旋转轴，旋转轴下部圆周外侧套接于阶梯型上行外齿套的竖向中轴线上，旋转轴下端的圆周外侧通过锁紧螺母与阶梯型上行外齿套的下端固定连接；旋转轴圆周外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级旋转杆，一级旋转杆外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的二级旋转杆，二级旋转杆外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的三级旋转杆；所有一级旋转杆排列呈现的环形、所有二级旋转杆排列呈现的环形、所有三级旋转杆排列呈现的环形的轴线与旋转轴的轴线重合；所述一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆的上部均通过轴承与阶梯型上行外齿套转动连接；旋转轴通过驱动机构驱动阶梯型上行外齿套和所有的一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆转动；一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆上端的高度从上至下依次为一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆；一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆的上端分别设有一级齿轮、二级齿轮和三级齿轮；吊盘的下侧面设置有外套件，外套件设置于阶梯型上行外齿套的圆周外侧；外套件下部的内侧设有圆环形的三阶内齿套，外套件中部的内侧面设有圆环形的二阶内齿套，外套件上部的内侧面设有圆环形的一阶内齿套，所述三阶内齿套、二阶内齿套和一阶内齿套分别与三级齿轮、二级齿轮和一级齿轮的远旋转轴的侧面啮合。