[发明专利]一种新型栅结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201510969720.3 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105448967A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 杨霏;郑柳;王方方;朱韫晖;吴昊;王嘉铭 | 申请（专利权）人： | 国网智能电网研究院;国家电网公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型栅结构及其制造方法，所述栅结构包括同平面设置的具有电极引线的栅pad区域(11)，以栅pad区域(11)为中心的发射状汇流条(12)和环状汇流条(13)，所述发射状汇流条(12)和所述环状汇流条(13)与周围元胞栅相连；所述方法包括：在同一图层上绘制栅pad区域(11)、发射状汇流条(12)和环状汇流条(13)的版图；制备栅pad区域(11)、发射状汇流条(12)和环状汇流条(13)；在栅pad区域(11)上制备电极引线，隔离发射状汇流条(12)和环状汇流条(13)与源电极或其他通流电极。本发明栅结构的网状汇流条有助于栅电压的扩展，缓解了由于栅电压扩展延迟造成的距栅pad较远的元胞开启延迟的问题，有助于提高器件性能的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种新型栅结构，其特征在于，所述栅结构包括同平面设置的具有电极引线的栅pad区域(11)，以栅pad区域(11)为中心的发射状汇流条(12)和环状汇流条(13)，所述发射状汇流条(12)和所述环状汇流条(13)与周围元胞栅相连。
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