[发明专利]用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置有效
| 申请号： | 201510915769.0 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN105575864B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | W·贝克;E·吕特;J·海林布伦纳 | 申请（专利权）人： | 辛古勒斯技术股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 佘鹏;傅永霄 |
| 地址： | 德国美因*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供了用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置，其用于在传输系统中、优选为在涂覆系统中将物体串联在一起，用于调整两个物体之间的距离，所述两个物体优选为基体或基体保持器，被布置成一个在另一个之后，其中，前方物体在所述传输系统中以处理速度v |
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| 搜索关键词： | 用于 系统 中将 基体 串联 在一起 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种方法，其用于在传输系统中、优选为在涂覆系统中将物体串联在一起，用于调整两个物体之间的距离，所述两个物体优选为基体或基体保持器，被布置成一个在另一个之后，其中，前方物体在所述传输系统中以处理速度vp移动，并且后方物体与所述前方物体相距未限定的距离，所述方法包括以下步骤：(a)将所述后方物体加速至初始速度vx＞vp；(b)当所述后方物体相对于所述前方物体靠向移动时，检测驱动转矩的增加；(c)使所述后方物体延迟预定的值，以便与所述前方物体建立预定的距离ap；以及(d)将所述后方物体的速度调整至所述处理速度vp。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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