[发明专利]用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置

说明书

本发明提供了用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置，其用于在传输系统中、优选为在涂覆系统中将物体串联在一起，用于调整两个物体之间的距离，所述两个物体优选为基体或基体保持器，被布置成一个在另一个之后，其中，前方物体在所述传输系统中以处理速度v_p移动，并且后方物体与所述前方物体相距一未限定的距离。所述方法包括以下步骤：(a)将后方基体加速至初始速度v_x＞v_p；(b)当后方基体相对于前方基体靠向移动时，检测驱动转矩的增加；(c)使所述后方基体延迟预定的值，以便与所述前方基体建立预定的距离a_p；以及(d)将所述后方基体的速度调整至处理速度v_p。

技术领域

本发明一般涉及传输系统、特别是涂覆系统的领域，其中，物体、特别是例如半导体晶片、太阳能电池等的基体和/或基体载体应当被串联在一起。

背景技术

当涂覆例如基体之类的扁平物体时，一方面，物体有必要在涂覆系统中的特定位置静止地保持一定时间，例如用于加热它们。另一方面，有必要使物体以恒定的速度移动通过涂覆源。与通过涂覆源的移动有关，期望物体以它们之间尽可能小的间隙通过涂覆源，使得尽可能少的待施加材料没有到达物体并且进入涂覆室。

物体串联在一起，即物体一个在另一个之后地排成一列，通常受传感器控制，所述传感器被布置在相对应的位置处，并且应当起检测接近的物体的作用。在这方面，为了确定或影响在先物体和相继的物体之间的距离或间隙，另外还需要大概的速度和大概的时间。为了防止物体碰撞，必须维持一定的安全距离。然而，如上文提到的，特别是在涂覆系统中，期望保持此距离尽可能小。

当将载体用于所述物体时，例如通过使一个在另一个之后移动的载体之间的连接件（载体处的槽和舌），能够可靠地调整所述距离。然而，此原理仅在使用特定载体时起作用。因此，不可能将此原理应用于在没有载体的情况下移动通过这样的系统的物体。

考虑到现有技术，进一步参考DE 10 2009 050 328 A1和DE 10 2010 031 245A1。

到目前为止可获得的解决方案是不可靠的，并且仅允许物体之间的相对大的距离。

发明内容

作为本发明的基础的目的在于提供一种用于建立传输系统、特别是涂覆系统中的物体之间的可靠地限定的和尽可能小的距离的方法和装置。此外，本发明的目的在于避免对物体的损伤。因此，应当保证涂覆室的内壁的最少的不期望涂覆以及最大的材料利用率（yield）。

此目的通过独立权利要求的特征来实现。从属权利要求涉及本发明的另外的方面。

本发明提供了一种方法，其用于在传输系统中、优选为在涂覆系统中将物体串联在一起，用于调整两个物体之间的距离，所述两个物体优选为基体或基体保持器，布置成一个在另一个之后，其中，前方物体在传输系统中以处理速度（process speed）v_p移动，并且后方物体与前方物体相距一未限定的距离，其中，所述方法包括以下步骤：将后方基体加速至初始速度v_x v_p；当后方基体相对于前方基体靠向移动时，检测驱动转矩的增加；使后方基体延迟预定的值，以便与前方基体建立预定的距离a_p；以及将后方基体的速度调整至所述处理速度v_p。

根据本发明的一个方面，在加速至初始速度v_x的步骤之后，并且在检测驱动转矩的增加的步骤之前，所述方法还附加地包括以下步骤：检测前方物体和后方物体之间的第一距离a₁，以及将后方物体的初始速度v_x减低至第二速度v_x-m，其中，v_x v_x-m v_p。