[发明专利]生成具有降低的环境温度依赖性的换能信号的压力传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及生成具有降低的环境温度依赖性的换能信号的压力传感器及其制造方法。被设计为检测压力传感器外部的环境的环境压力值(PA)的压力传感器(31)包括：第一基板(12)，具有掩埋腔(16)和悬挂在掩埋腔之上的膜(18)；第二基板(14)，具有凹部(14’)，凹部气密耦合到第一基板(12)，使得凹部限定密封腔(24)，密封腔的内部压力值提供压力基准值(PREF)；以及通道(32)，至少部分地形成在第一基板(12)中，并且被配置为将掩埋腔(16)布置为与压力传感器外部的环境连通。膜经受根据密封腔(24)中的压力基准值(PREF)和掩埋腔中的环境压力值(PA)之间的压力差的偏斜。

主权项

一种压力传感器(11；31)，适于检测所述压力传感器外部的环境的环境压力值(PA)，所述压力传感器包括：‑第一半导体本体(12)，具有内部掩埋腔(16)和悬置在所述掩埋腔之上的膜(18)；‑第二半导体本体(14)，具有凹部(14’)，所述凹部气密耦合到所述第一半导体本体(12)，使得所述凹部(14’)面对所述膜(18)，从而限定密封腔(24)，所述密封腔的内部压力值提供压力基准值(PREF)；以及‑通道(26；32)，至少部分地形成在所述第一半导体本体(12)中，并且被配置为将所述掩埋腔(16)设置为与所述压力传感器外部的所述环境流体连通，所述膜(18)被配置为经受根据所述密封腔(24)中的所述压力基准值(PREF)和所述掩埋腔(16)中的所述环境压力值(PA)之间的压力差的偏斜。