[发明专利]感光性树脂组合物和由其制备的固化膜有效
申请号: | 201510813178.2 | 申请日: | 2015-11-20 |
公开(公告)号: | CN105652593B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 权真;许槿;罗钟昊;李垠泳 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/075 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 樊云飞;陈哲锋 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种感光性树脂组合物和一种由其制备的固化膜。如下所述感光性树脂组合物可以维持含有硅氧烷聚合物的常规组合物的优势,即高耐热性和高透明度,同时还具有改良的抗裂性:其包含硅氧烷聚合物、1,2‑醌二叠氮化合物和溶剂,其中以Si原子的总摩尔数计,所述硅氧烷聚合物(A)包含2到15摩尔%的线性硅氧烷结构单元;因此,其可以提供具有改良的稳定性的固化膜或平面化膜。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 制备 固化 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其包含:(A)含有至少一个衍生自由式(I)表示的硅烷化合物的结构单元的硅氧烷聚合物,(B)1,2‑醌二叠氮化合物,和(C)溶剂:(R1)nSi(R2)4‑n (I)其中R1是具有1到12个碳原子的烷基、具有2到12个碳原子的烯基、具有6到12个碳原子的芳基、具有7到12个碳原子的芳烷基或具有7到12个碳原子的烷芳基,并且在多个R1的情况下,其可以与彼此相同或不同;R2是氢原子、卤素原子、具有1到12个碳原子的烷氧基、氨基、具有2到12个碳原子的酰氧基或具有6到12个碳原子的芳氧基,并且在多个R2的情况下,其可以与彼此相同或不同;并且n是0到3的整数,并且其中以Si原子的总摩尔数计,所述硅氧烷聚合物(A)包含2到15摩尔%的衍生自其中n=2的式(I)硅烷化合物的结构单元。
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