[发明专利]基于离心加速度的MEMS陀螺加速度敏感性补偿方法在审
| 申请号： | 201510801503.3 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105277215A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 董冀;黄艳辉;王甫;高玉霞 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 耿英;董建林 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于离心加速度的MEMS陀螺加速度敏感性补偿方法，包括以下步骤：将MEMS陀螺固定安装在离心机上，敏感轴指向或背向离心机的中心，分别让离心机转动到设定的加速度；测试记录不同加速度下的MEMS陀螺的零偏输出；根据零偏输出构建MEMS陀螺g敏感性矩阵和离心机的加速度矩阵；用高阶多项式表达MEMS陀螺g敏感性矩阵和离心机的加速度矩阵的关系；通过多项式拟合的方法计算出高阶多项式的系数；利用拟合后的多项式进行MEMS陀螺g敏感性补偿。本发明利用不同g值的离心加速度对MEMS陀螺的g敏感性进行标定，可以更精确地标定出MEMS陀螺的g敏感性，提高了MEMS陀螺g敏感性补偿的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 离心 加速度 mems 陀螺 敏感性 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种基于离心加速度的MEMS陀螺加速度敏感性补偿方法，其特征是，包括以下步骤：将MEMS陀螺固定安装在离心机上，敏感轴指向或背向离心机的中心，分别让离心机转动到以下加速度：0g，1g，2g，5g，10g，20g，30g；测试记录不同加速度下的MEMS陀螺的零偏输出；根据MEMS陀螺的零偏输出构建MEMS陀螺g敏感性矩阵和离心机的加速度矩阵为G；用高阶多项式表达MEMS陀螺g敏感性矩阵Biasg和离心机的加速度矩阵G的关系；通过多项式拟合的方法计算出高阶多项式的系数；利用拟合后的多项式进行MEMS陀螺g敏感性补偿。
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