[发明专利]膜形成装置

摘要

膜形成装置包括基座和莲蓬式喷头，所述莲蓬式喷头设置在所述基座的上方并且具有形成在其中的第一通道和独立于所述第一通道的第二通道，其中所述第一通道通过设置有被第一上壁和第一下壁包围并且水平延伸的第一空腔、形成在所述第一上壁中的第一细孔以及形成在所述第一下壁中的多个第二细孔而形成为贯穿所述莲蓬式喷头，所述第一上壁的在竖直方向上的高度随着与所述第一细孔的距离的增加而减小，并且所述第二通道以与所述第一通道相同的方式形成。

主权项

1.一种膜形成装置， 包括：基座；以及莲蓬式喷头，其设置在所述基座的上方并且具有形成在其中的第一通道和独立于所述第一通道的第二通道，其中所述第一通道通过设置有被第一上壁和第一下壁包围并水平延伸的第一空腔、形成在所述第一上壁中的第一细孔以及形成在所述第一下壁中的多个第二细孔而形成为贯穿所述莲蓬式喷头；所述第一上壁的在竖直方向上的高度随着与所述第一细孔的距离的增加而减小；所述第一下壁的在竖直方向上的高度是恒定的；所述第二通道通过设置有被第二上壁和第二下壁包围并水平延伸的第二空腔、形成在所述第二上壁中的第三细孔以及形成在所述第二下壁中的多个第四细孔而形成为贯穿所述莲蓬式喷头；所述第二上壁的在竖直方向上的高度随着与所述第三细孔和所述第二空腔之间的连接点的距离的增加而减小；所述第二下壁的在竖直方向上的高度是恒定的，其中从所述莲蓬式喷头的上表面的中心至所述第一空腔的流道被设置为所述第一细孔，所述第一细孔形成在所述第一上壁的位于所述基座的中心的正上方处，且其中从所述莲蓬式喷头的上表面的边缘位置至所述第二空腔的流道被设置为所述第三细孔，所述第三细孔和所述第二空腔之间的所述连接点形成在所述第二上壁的位于所述基座的中心的正上方处。