[发明专利]掩膜板的制作方法有效
| 申请号： | 201510631648.3 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105177496B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 周扬川;柯贤军;吴俊雄;任晓光;冉应刚;雷淇淋;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种掩膜板的制作方法，包括如下步骤：在金属基板上形成消融材料层；对所述消融材料层远离所述金属基板的表面进行曝光、显影，以在所述消融材料层形成具有开口的图形区域；通过电铸工艺在所述开口内形成电铸层；去除所述金属基板上的所述消融材料层，得到具有所述电铸层的所述金属基板；通过脱模工序，使位于所述开口内的所述电铸层与所述金属基板分离，得到所述掩膜板。上述掩膜板，由于无需采用刻蚀技术，生产工艺简单，生产成本较低，而且可以使得到的掩膜板精密度较高，从而可以使其满足高像素显示屏的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在金属基板上形成消融材料层；对所述消融材料层远离所述金属基板的表面进行曝光、显影，以在所述消融材料层形成具有开口的图形区域，所述开口的横截面为上宽下窄的梯形；通过电铸工艺在所述开口内形成电铸层；采用激光烧蚀的方法去除消融材料层，去除所述金属基板上的所述消融材料层，得到具有所述电铸层的所述金属基板，所述电铸层的厚度为6μm~10μm；通过采用热胀冷缩脱膜法的脱模工序，使位于所述开口内的所述电铸层与所述金属基板分离，得到所述掩膜板，在形成所述电铸层之前，还包括在所述开口内形成脱模剂层，所述电铸层形成于所述脱模剂层远离所述金属基板的表面，所述脱模剂层的厚度为0.5~1.0微米。
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