[发明专利]搬运装置以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种当搬运基板时减小基板受到来自周围的气流的影响的搬运装置以及基板处理装置。搬运装置(30a)是搬运基板(90)的装置。搬运装置(30a)具有手部(313)，保持基板(90)；升降机构(32)，使手部(313)沿着铅垂方向升降；旋转机构(33)，使手部(313)围绕沿着铅垂方向的转动轴旋转；罩部(34)，通过旋转机构(33)与手部(313)一起旋转，内部容置有手部。搬运装置(30a)具有第一臂部(311)及第二臂部(312)，通过使手部(313)沿着水平方向移动，使手部通过罩部(34)的开口(OP)向罩部(34)的内侧以及外侧移动；门部(342)，开闭罩部(34)的开口(OP)。

主权项

一种搬运装置，搬运基板，其特征在于，具有：基板保持部，具有沿着水平方向延伸并从下方支撑基板的多个支撑部和与所述多个支撑部的基端部连接的基部，升降机构，使所述基板保持部沿着铅垂方向进行升降，旋转机构，使所述基板保持部围绕沿着所述铅垂方向的旋转轴进行旋转，水平移动机构，使所述基板保持部沿着所述水平方向进行移动，顶端侧立起部，设于所述支撑部上的特定位置，该特定位置为，在所述水平方向上，比支撑所述基板的支撑位置更靠顶端侧的位置，并且，该顶端侧立起部以延伸至所述支撑部各自的支撑所述基板的支撑位置的上方的方式立起，间隔变更部，通过在分别设于相邻的两个所述支撑部的两个所述顶端侧立起部之间进行移动，来变更所述两个顶端侧立起部之间的间隙间隔。