[发明专利]搬运装置以及基板处理装置

权利要求书

1.一种搬运装置，搬运基板，其特征在于，具有：

基板保持部，具有沿着水平方向延伸并从下方支撑基板的多个支撑部和与所述多个支撑部的基端部连接的基部，

升降机构，使所述基板保持部沿着铅垂方向进行升降，

旋转机构，使所述基板保持部围绕沿着所述铅垂方向的旋转轴进行旋转，

水平移动机构，使所述基板保持部沿着所述水平方向进行移动，

顶端侧立起部，设于所述支撑部上的特定位置，该特定位置为，在所述水平方向上，比支撑所述基板的支撑位置更靠顶端侧的位置，并且，该顶端侧立起部以延伸至所述支撑部各自的支撑所述基板的支撑位置的上方的方式立起，

间隔变更部，通过在分别设于相邻的两个所述支撑部的两个所述顶端侧立起部之间进行移动，来变更所述两个顶端侧立起部之间的间隙间隔。

2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

该搬运装置还具有基端侧立起部，该基端侧立起部设于所述支撑部的比支撑所述基板的支撑位置更靠基端侧的位置，立起至所述支撑部的支撑所述基板的支撑位置的上方，并且，沿着所述多个支撑部排列的方向延伸。

3.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

基板处理部，处理基板，

权利要求1或2所述的搬运装置，将所述基板搬入或者搬出所述基板处理部。