[发明专利]CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法有效

专利信息
申请号: 201510383346.9 申请日: 2015-07-02
公开(公告)号: CN104925760B 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 李宗雨;丘立安 申请(专利权)人: 成都先锋材料有限公司
主分类号: C01B19/00 分类号: C01B19/00;C04B35/547;C04B35/626;C23C14/34;C23C14/06
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 代理人: 饶钱
地址: 610000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供了一种CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法。CIGS的Na掺杂方法包括以下步骤制备镓的含钠固溶体,将固溶体与铜、铟以及硒按照所需比例混合,再进行真空熔炼,以获得掺杂Na的CIGS化合物。掺杂Na的CIGS溅射靶材的制备方法包括如下步骤制备的掺杂Na的CIGS化合物进行粉碎处理,干燥处理后热压处理,热压后冷却至室温,最后以磨床加工成所需形状,从而获得掺杂Na的CIGS溅射靶材。本发明提供的方法可以制备均匀掺杂有Na的CIGS化合物,利用该化合物可以制备高质量的掺杂Na的CIGS的溅射靶材,而且在制备过程中还可以避免各种元素的流失,从而有利于提高太阳能电池的转换效率。
搜索关键词: cigs na 掺杂 方法 及其 溅射 制作方法
【主权项】:
一种CIGS的Na掺杂方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)利用镓和含钠化合物为原料,制备镓的含钠固溶体,所述含钠化合物包括Na2Se、Na2S、Na2SeO3中的一种或者多种;(2)将上述固溶体与铜、铟以及硒按照制备CIGS的所需Cu、In、Ga、Se的比例混合以制备混合料;(3)将上述混合料在1100℃至1200℃内进行真空熔炼,以获得掺杂Na的CIGS化合物。
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