[发明专利]感放射线性树脂组合物、硬化膜及其形成方法以及显示元件

摘要

本发明的目的在于提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可形成耐化学品性、显影后及曝光放置后的图案密合性及透明性优异的硬化膜的感放射线性树脂组合物、由所述组合物形成的硬化膜及其形成方法与显示元件。本发明的树脂组合物含有：[A]聚合物成分，其包含具有式(1)所示的基团及具有交联性基的结构单元；及[B]感放射线性酸产生体，其包含具有式(2)所示的肟磺酸酯基的化合物及N-磺酰氧基酰亚胺化合物的至少一种。

主权项

一种感放射线性树脂组合物，其特征在于含有：[A]聚合物成分，其在相同或不同的聚合物中包含具有下述式(1)所表示的基团的第一结构单元以及具有交联性基的第二结构单元；以及[B]感放射性酸产生体，其为选自具有下述式(2)所表示的肟磺酸酯基的化合物以及N‑磺酰氧基酰亚胺化合物中的至少一种化合物；式(1)中，R¹、R²及R³分别独立地为氢原子、碳数1至20的烷基、脂环式烃基、芳基、这些基团所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基团、或者‑SiR^A₃；R^A为碳数1至10的烷基；R⁴为单键或者碳数1至12的二价有机基，式(2)中，R⁵为碳数1至20的烷基、脂环式烃基、芳基、或者这些基团所具有的氢原子的一部分或全部经取代基所取代的基团。