[发明专利]喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备

摘要

本发明公开了一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。本发明还公开了一种湿刻设备，包括喷淋单元，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。

主权项

一种喷淋组件，包括喷淋管(10)，其特征在于，所述喷淋管(10)的底部开设有多个第一通孔(11)，每一第一通孔(11)中装配有一喷嘴机构(12)，其中，所述喷嘴机构(12)包括一滑块(121)，所述滑块(121)的面积大于所述第一通孔(11)的面积，所述滑块(121)设置于所述喷淋管(10)内并覆盖于所述第一通孔(11)上；所述滑块(121)上连接有一喷嘴(122)，所述喷嘴(122)从所述第一通孔(11)中伸出，所述喷嘴(122)与所述喷淋管(10)流体连通；所述喷嘴机构(12)还包括将所述滑块(121)连接到所述喷淋管(10)的锁紧件(123)，当所述锁紧件(123)锁紧时，所述滑块(121)固定连接到所述喷淋管(10)上；当所述锁紧件(123)松开时，所述滑块(121)可在水平面内移动，以调整所述喷嘴(122)在所述第一通孔(11)中的位置。