[发明专利]喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备

权利要求书

1.一种喷淋组件，包括喷淋管(10)，其特征在于，所述喷淋管(10)的底部开设有多个第一通孔(11)，每一第一通孔(11)中装配有一喷嘴机构(12)，其中，

所述喷嘴机构(12)包括一滑块(121)，所述滑块(121)的面积大于所述第一通孔(11)的面积，所述滑块(121)设置于所述喷淋管(10)内并覆盖于所述第一通孔(11)上；所述滑块(121)上连接有一喷嘴(122)，所述喷嘴(122)从所述第一通孔(11)中伸出，所述喷嘴(122)与所述喷淋管(10)流体连通；

所述喷嘴机构(12)还包括将所述滑块(121)连接到所述喷淋管(10)的锁紧件(123)，当所述锁紧件(123)锁紧时，所述滑块(121)固定连接到所述喷淋管(10)上；当所述锁紧件(123)松开时，所述滑块(121)可在水平面内移动，以调整所述喷嘴(122)在所述第一通孔(11)中的位置。

2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上朝向所述第一通孔(11)的一侧设置有卡槽(1211)，所述第一通孔(11)的边缘设置朝向所述滑块(121)凸起的卡点(111)，所述卡点(111)装配于所述卡槽(1211)中。

3.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上设置有第二通孔(1212)，所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1212)。

4.根据权利要求3所述的喷淋组件，其特征在于，所述第二通孔(1212)为螺纹孔，所述喷嘴(122)具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部(1221)，通过将所述第一螺纹部(1221)装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1212)中。

5.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括螺栓(1231)以及设置于所述滑块(121)上的螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)，所述螺栓(1231)穿过所述第一通孔(11)装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)中，所述螺栓(1231)的头部(1234)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。

6.根据权利要求3所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括一螺栓(1231)和一螺帽(1233)，所述滑块(121)上设置有第三通孔(1213)，所述螺栓(1231)依次穿过第三通孔(1213)和第一通孔(11)与所述螺帽(1233)配合，所述螺帽(1233)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。

7.根据权利要求5或6所述的喷淋组件，其特征在于，所述螺纹锁紧件(123a)的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴(122)的相对两侧。

8.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述多个第一通孔(11)等间距地排布于所述喷淋管(10)的底部。

9.一种湿刻设备，包括喷淋单元，其特征在于，所述喷淋单元(400)包括多个如权利要求1-8任一所述的喷淋组件(1)，多个喷淋组件(1)中的多个喷淋管(10)相互平行地或近于相互平行地排列。

10.根据权利要求9所述的湿刻设备，其特征在于，对于所述喷淋单元(400)的多个喷淋组件(1)中，按照喷淋组件(1)的排列方向，第奇数个喷淋组件(1c)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的第一端(11a)，第偶数个喷淋组件(1d)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的与第一端(11a)相对的第二端(11b)。