[发明专利]一种双圆柱形金属‑介质‑金属表面等离子波导结构的加速度传感装置

摘要

本发明公开了一种双圆柱形金属‑介质‑金属表面等离子波导结构的加速度传感装置，包括Si基底，其特征是，还包括大小相同的第一金属‑介质‑金属波导结构和第二金属‑介质‑金属波导结构、以及光纤直波导。这种装置不仅能够弥补微电子机械系统传感器受外界环境、自身属性限制的不足，还能够改善传统微环传感器的响应时间长、灵敏度低等问题，这种装置结构简单、易于实现。

主权项

一种双圆柱形金属‑介质‑金属表面等离子波导结构的加速度传感装置，包括Si基底，其特征是，还包括大小相同的第一金属‑介质‑金属波导结构和第二金属‑介质‑金属波导结构，所述金属‑介质‑金属波导结构为圆柱形金属‑介质‑金属波导结构；所述第一金属‑介质‑金属波导结构和第二金属‑介质‑金属波导结构设置在Si基底上；光纤直波导，所述光纤直波导设置在Si基底上，所述第一金属‑介质‑金属波导结构和第二金属‑介质‑金属波导结构对称设置在光纤直波导的两侧，并与光纤直波导靠接，所述的圆柱形金属‑介质‑金属波导结构是对称的金‑二氧化硅‑金表面等离子波导。