[发明专利]一种双圆柱形金属‑介质‑金属表面等离子波导结构的加速度传感装置有效
| 申请号： | 201510367924.X | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN104977427B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 秦柳丽;朱君;宋树祥;傅得立 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱形 mim 表面 等离子 波导 结构 加速度 传感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种双圆柱形金属-介质-金属表面等离子波导结构的加速度传感装置，包括Si基底，其特征是，还包括
大小相同的第一金属-介质-金属波导结构和第二金属-介质-金属波导结构，所述金属-介质-金属波导结构为圆柱形金属-介质-金属波导结构；所述第一金属-介质-金属波导结构和第二金属-介质-金属波导结构设置在Si基底上；
光纤直波导，所述光纤直波导设置在Si基底上，所述第一金属-介质-金属波导结构和第二金属-介质-金属波导结构对称设置在光纤直波导的两侧，并与光纤直波导靠接，所述的圆柱形金属-介质-金属波导结构是对称的金-二氧化硅-金表面等离子波导。
2.根据权利要求1所述的双圆柱形金属-介质-金属表面等离子波导结构的加速度传感装置，其特征是，所述的光纤直波导是采用微纳光纤通过酒精灯一次熔融拉伸形成。
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