[发明专利]反应烧结碳化硅陶瓷均温板在审
| 申请号： | 201510334220.2 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104926311A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 亓锡云;姜刚;王明祥;郭焕军;石威;宋传忠 | 申请（专利权）人： | 潍坊华美精细技术陶瓷股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/64 |
| 代理公司： | 山东博睿律师事务所 37238 | 代理人： | 丁波 |
| 地址： | 261200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反应烧结碳化硅陶瓷均温板，其制造方法包括以下步骤：制备粉料，将碳与碳化硅混合，加入硬脂酸锌、聚乙烯醇喷雾造粒，得到粉料；压制坯块；真空烧结，在坯块表面放置硅粉，进行反应烧结；氧化烧结，将得到的均温板进行氧化烧结。本发明适用不同厚度均温板外形结构形式的制作，材质致密、尺寸精确、成品率高。本发明制作的均温板具有良好的热传导性能、较高的高温强度和低热膨胀系数，良好的高温抗腐蚀性能，尤其是通过，超过正常反应温度的1800～1900℃烧结，使渗硅反应更加充分，保证了材质的致密，避免了产品的开裂；另外，通过高温氧化烧结，可检验产品高温状态下的应力变化，杜绝应用过程中的质量问题发生，降低应用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 烧结 碳化硅 陶瓷 均温板 | ||
【主权项】：
反应烧结碳化硅陶瓷均温板，其特征是，其制造方法包括以下步骤：制备粉料：将碳与碳化硅按1:（2~5）的质量比混合后，加入总质量1%~4%的硬脂酸锌作为润滑剂，总质量15%~25%的聚乙烯醇作为粘接剂，喷雾造粒，得到粉料；压制坯块；真空烧结：在坯块表面放置相对坯块重量30～40%的硅粉，进行反应烧结；在28～36h时间段内，抽真空升温加热到1800～1900℃，经渗硅、恒温，然后充氦气降温至1100～1200℃，再充氮气降温到120℃以下；氧化烧结：将得到的均温板进行氧化烧结；在200～250h时间段内，缓慢升温至1100～1200℃，恒温24h，再缓慢降温至120℃以下。
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