[发明专利]一种硅片机械手

摘要

本发明涉及一种硅片机械手，包括：机械臂，一端与滑动导轨相连；真空吸附式手爪，与机械臂的另一端相连；真空吸盘，位于真空吸附式手爪上；控制器，所述控制器能够改变所述机械臂的位置并控制所述真空吸盘工作，还包括温度传感器，所述温度传感器设置在所述机械手上，并将检测的温度信号传递给所述控制器，所述真空吸盘的数量至少为2个；本发明的硅片机械手该机械手在取片过程中，既能够降低硅片的碎片率、提高硅片表面的合格率，同时也提高了真空吸附式手爪吸附硅片的效果，避免了因真空度较差而引起的吸力不足问题。

主权项

一种硅片机械手，包括 ：机械臂（1），一端与滑动导轨相连 ；真空吸附式手爪（2），与机械臂（1）的另一端相连 ；真空吸盘（3，4），位于真空吸附式手爪（2）上 ；控制器（6），所述控制器（5）能够改变所述机械臂（1）的位置并控制所述真空吸盘（3）工作，其特征在于，还包括温度传感器（5），所述温度传感器（5）设置在所述机械手上，并将检测的温度信号传递给所述控制器（5），所述真空吸盘的数量至少为2个。