[发明专利]粘接头和具有该粘结头的裸片粘接设备

摘要

本发明公开了一种粘接头和一种具有该粘接头的裸片粘接设备。所述粘接头包括主体、板加热器、夹头和冷却管，所述主体连接至用于传递所述裸片的驱动部段，所述板加热器安装至所述主体的下表面，所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片，所述冷却管设置穿过所述主体并且冷却流体循环穿过冷却管以冷却所述板加热器。

主权项

1.一种用于将裸片粘接至基材的粘接头，所述粘接头包括：主体，所述主体连接至用于传递所述裸片的驱动部段；板加热器，所述板加热器安装至所述主体的下表面；夹头，所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片；和冷却管，所述冷却管设置成穿过所述主体并且冷却流体循环穿过所述冷却管以冷却所述板加热器，其中所述主体包括安装块，所述安装块连接至所述驱动部段；和绝热块，所述绝热块安装至所述安装块的下部以防止热量从所述板加热器传递到所述安装块；并且其中至少一个冷却通道形成于所述绝热块的所述下表面处，并且所述冷却管设置于所述冷却通道中；并且热传递构件设置于所述冷却通道中以用于所述板加热器的上表面和所述冷却管之间的热传递。