[发明专利]对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器

摘要

本发明涉及对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器。对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线，即敏感性轴线的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线，即平行于敏感性轴线的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。

主权项

一种MEMS陀螺仪，包括：第一共振器，所述第一共振器被配置成在器件平面中共振并且感测围绕所述器件平面中的第一轴线的旋转；第二共振器，所述第二共振器被配置成在所述器件平面中共振并且感测在所述器件平面中围绕垂直于所述第一轴线的第二轴线的旋转；和将所述第一和第二共振器相互连接的至少一个耦合件，所述至少一个耦合件被配置为锁定所述第一和第二共振器的共振并且防止每一个共振器的面外运动转移到另一个共振器。