[发明专利]对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，包括：

第一共振器，所述第一共振器被配置成在器件平面中共振并且感测围绕所述器件平面中的第一轴线的旋转；

第二共振器，所述第二共振器被配置成在所述器件平面中共振并且感测在所述器件平面中围绕垂直于所述第一轴线的第二轴线的旋转；和

将所述第一和第二共振器相互连接的至少一个耦合件，所述至少一个耦合件被配置为锁定所述第一和第二共振器的共振并且防止每一个共振器的面外运动转移到另一个共振器。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其中每一个共振器均包括被叉子相互连接的两个梭子，并且其中所述至少一个耦合件将所述叉子相互连接，或者所述至少一个耦合件包括连接所述第一共振器的第一梭子和所述第二共振器的第一梭子的第一耦合件以及连接所述第一共振器的第二梭子和所述第二共振器的第二梭子的第二耦合件。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其中所述共振器相互同相地操作，并且所述至少一个耦合件是同相耦合件。

4.根据权利要求3所述的MEMS陀螺仪，其中所述同相耦合件包括细长杆，所述细长杆不顺从于所述器件平面中的弯曲从而耦合沿着它的长度的平移并且顺从于面外的弯曲从而每一个共振器的倾斜运动并不有效地耦合到另一共振器之中。

5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其中所述共振器相互反相地操作，并且其中所述耦合件是反相耦合件。