[发明专利]电极蒸镀装置有效
| 申请号： | 201510172286.6 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN104746017B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 胡小鹏;薛其坤;陈曦;赵大鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电极蒸镀装置，包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元，电极蒸发源设置于电极蒸镀单元的底部；所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒，所述样品托插座用于固定一样品，且具有相对的两个凸棒，定义相互垂直的一X方向和一Y方向，该两个凸棒的连线平行于所述X方向；所述第一限位框具有相对的两个第一开口，第二限位框具有相对的两个第二开口，该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上，且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口；所述磁力棒位于第一限位框的外侧，且该磁力棒沿所述Y方向延伸。本发明进一步涉及一利用所述电极蒸镀装置的原位输运性质的测量装置及其测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 装置 | ||
【主权项】：
一种电极蒸镀装置，包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元，所述电极蒸发源设置于所述电极蒸镀单元的底部；其特征在于，所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒，所述样品托插座用于固定一样品，该样品托插座具有相对的两个凸棒，定义相互垂直的一X方向和一Y方向，该两个凸棒的连线平行于所述X方向；所述第一限位框具有相对的两个第一开口，第二限位框具有相对的两个第二开口，该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上，且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口；所述磁力棒位于第一限位框的外侧，且该磁力棒沿所述Y方向延伸；所述电极蒸镀单元包括一电极蒸镀腔，该电极蒸镀腔具有相对的两端，一端连接于一传样腔，另一端与所述电极蒸发源连接。
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