[发明专利]电极蒸镀装置

权利要求书

1.一种电极蒸镀装置，包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元，所述电极蒸发源设置于所述电极蒸镀单元的底部；其特征在于，所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒，所述样品托插座用于固定一样品，该样品托插座具有相对的两个凸棒，定义相互垂直的一X方向和一Y方向，该两个凸棒的连线平行于所述X方向；所述第一限位框具有相对的两个第一开口，第二限位框具有相对的两个第二开口，该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上，且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口；所述磁力棒位于第一限位框的外侧，且该磁力棒沿所述Y方向延伸；所述电极蒸镀单元包括一电极蒸镀腔，该电极蒸镀腔具有相对的两端，一端连接于一传样腔，另一端与所述电极蒸发源连接。

2.如权利要求1所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述电极蒸镀单元进一步包括一支撑结构，所述样品托插座、第一限位框和第二限位框设置于该支撑结构的表面，所述样品托插座通过该支撑结构与所述电极蒸发源间隔设置。

3.如权利要求2所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述支撑结构包括一支撑台，该支撑台具有一第一通孔，一掩模设置于该支撑台的第一通孔上，且与所述电极蒸发源正对。

4.如权利要求3所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第二开口具有相对的两个与支撑台的表面垂直的侧面，该第二开口的设置用于使所述样品托插座上下移动。

5.如权利要求3所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第一开口具有一与支撑台的表面成一角度的斜面，该斜面的延长线与所述支撑台的表面形成一钝角，且所述磁力棒靠近该斜面。

6.如权利要求5所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述磁力棒活动地设置于所述电极蒸镀单元中，且沿所述Y方向移动。

7.如权利要求6所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述磁力棒推第一限位框时，所述样品托插座由于所述第一开口中斜面和所述第二开口的限定而向上移动。

8.如权利要求7所述的电极蒸镀装置，其特征在于，该磁力棒远离所述第一限位框时，所述样品托插座在重力的作用下向下移动。

9.如权利要求3所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述电极蒸发源通过一底法兰连接于所述电极蒸镀腔，所述支撑台通过支撑杆连接于该底法兰。

10.如权利要求9所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述电极蒸镀腔内部为真空环境。