[发明专利]电极蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种电极蒸镀装置。

背景技术

低维量子物质是物理学研究内容最丰富的领域之一。半导体异质结界面的二维电子气、石墨烯、铜基和铁基超导体、拓扑绝缘体、氧化物界面以及过渡金属硫族化合物层状材料等等都属于这类体系。这些体系展现了自然界中一些最神奇的量子态，涉及凝聚态物理主要的重大科学问题，是揭示低维物理最具挑战的强电子关联问题的关键体系，它们很有可能还是导致未来信息、清洁能源、电力和精密测量等技术重大革新甚至是革命的一类体系，是目前全世界的研究重点。

由于所述低维量子物质或者低维材料是从物理上提炼简化为厚度为一到几个原子层/单位原胞的准二维体系，非常薄，当在该低维量子物质上采用传统的电极蒸镀装置蒸镀电极时，会破坏低维量子物质。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种不会破坏低维材料结构的电极蒸镀装置。

一种电极蒸镀装置，包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元，所述电极蒸发源设置于所述电极蒸镀单元的底部；所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒，所述样品托插座用于固定一样品，且该样品托插座具有相对的两个凸棒，定义相互垂直的一X方向和一Y方向，该两个凸棒的连线平行于所述X方向；所述第一限位框具有相对的两个第一开口，第二限位框具有相对的两个第二开口，该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上，且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口；所述磁力棒位于第一限位框的外侧，且该磁力棒沿所述Y方向延伸。

与现有技术相比，本发明提供的电极蒸镀装置中，通过固定低维材料结构的第一样品托插座、第二限位框、第一限位框和磁力棒的设置方式，使低维材料结构随同第一样品托插座在自身重力的作用下，与掩模接触，然后再加热电极蒸发源于低维材料的表面蒸镀电极，不会破坏低维材料结构。

附图说明

图1为原位输运性质测量装置的立体结构的结构示意图。

图2为低维材料制备系统的剖面结构示意图。

图3为低维材料处理系统的立体结构的结构示意图。

图4为低维材料处理系统中电极蒸镀腔内部的立体结构分解图。

图5为低维材料处理系统中刻划处理腔内部及显微镜的立体结构示意图。

图6为输运性质测量系统的立体结构分解示意图。

图7为输运性质测量系统中探针台的剖面结构示意图。

图8为低维材料原位输运性质测量方法的流程图。

主要元件符号说明