[发明专利]一种金刚石表面镀树脂膜的制作方法有效
| 申请号： | 201510132726.5 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104762592B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘建设;郭松;孟为民;曹河周;王飞山;刘拾霞;刘超超 | 申请（专利权）人： | 河南黄河旋风股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石表面处理技术领域，名称是一种金刚石表面镀树脂膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤a、抽真空，首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至2×10‑3Pa；b、金刚石表面清洁用5KV离子源清洁处理上述金刚石30分钟；c、金刚石表面镀膜,将上述步骤b中处置后的金刚石粉置于下述工艺中处理阴极靶材用ABS树脂片靶材；电压是400V；直流电流是1.0A ‑ 1.2A；偏转电压是140V—160V等，这样的方法具有金刚石树脂镀膜容易实现、镀膜稳定、镀膜坚实的优点，另外这样的镀膜工艺还具有镀膜完整、均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 树脂 制作方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石表面镀树脂膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：a、抽真空首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至2×10‑3Pa；b、金刚石表面清洁5kV离子源清洁处理30分钟；c、金刚石表面镀膜将上述步骤b中处置后的金刚石置于下述工艺中处理：阴极靶材：用ABS树脂片靶材；电压： 400V；直流电流： 1.1A；偏转电压： 150V；高纯氩气流量：12sccm；工作时间： 10800s～12000s；温度： 温度150℃；移动方式： 金刚石移动；经过上述步骤处理后可以得到表面具有树脂膜结构金刚石。
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