[发明专利]IGBT器件及其制造方法有效
申请号: | 201510098038.1 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN104637996B | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 韩健;顾悦吉;刘慧勇 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 张振军 |
地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种IGBT器件及其制造方法,所述IGBT器件具有空穴通路结构,所述IGBT器件的发射区与所述IGBT器件的发射极金属电极之间串联有发射区镇流电阻。本发明的IGBT器件能够同时改善空穴电流和电子电流,提高常温与高温环境下IGBT器件的抗闩锁能力和短路能力。另外,本发明还提供了该IGBT器件的制造方法。 | ||
搜索关键词: | igbt 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种IGBT器件,所述IGBT器件具有空穴通路结构,其特征在于,所述IGBT器件的发射区与所述IGBT器件的发射极金属电极之间串联有发射区镇流电阻,所述IGBT器件的版图平面具有相互垂直的X方向和Y方向,所述IGBT器件包括:多个栅极,在版图平面内沿Y方向延伸;N型电阻区,在版图平面内沿Y方向延伸,且位于相邻栅极之间,所述N型电阻区作为所述发射区镇流电阻;所述发射区镇流电阻具有正温度系数。
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