[发明专利]用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备在审
| 申请号： | 201510094991.9 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104897055A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 成元珉;李周浩;咸德柱;金振亿 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备，且更确切地说，涉及用于校准制动轮的坐标的方法及能够在滴液设备的所述制动轮移动时校准坐标的用于处理衬底的设备。根据本发明的示范性实施例，一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的方法包含：在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 制动 标的 方法 处理 衬底 设备 | ||
【主权项】：
一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的方法，所述方法包括：在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标。
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