[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201510088181.2 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104880908B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 山下和贵;井上裕康;三木雅之;河西裕 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G02F1/1335;H01L27/32 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种感光性树脂组合物，在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜，接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口，形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，/n在形成有电极的基板上供给所述感光性树脂组合物，使所述基板以900rpm旋转7秒形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜，将形成有所述薄膜的基板在66Pa下减压干燥后，在110℃预烘焙110秒，接着，对预烘焙后的薄膜以200mJ/cm
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