[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 201510088181.2 | 申请日: | 2015-02-26 |
公开(公告)号: | CN104880908B | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 山下和贵;井上裕康;三木雅之;河西裕 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G02F1/1335;H01L27/32 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
一种感光性树脂组合物,在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜,接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口,形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、隔壁、基板、显示装置和基板评价方法。
背景技术
对于近年来的显示装置等而言,通过喷墨法等涂布法来制作滤色器、液晶显示元件的ITO电极、有机EL显示元件、电路布线基板等。在使用这样的涂布法来形成元件的方法中,利用了使用感光性树脂组合物而形成的隔壁。
例如,在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜后,以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口,由此在电极上设置具有开口的隔壁,然后在隔壁的开口内滴加含有薄膜材料的墨液,并对其进行加热干燥等,由此在电极上形成规定的薄膜。
作为这样的感光性树脂组合物,例如已知如下的感光性树脂组合物,其包含将具有碳原子数4~6的氟烷基的α位取代丙烯酸酯聚合而得到的聚合物(专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-73603号公报
发明内容
如上所述,感光性树脂组合物先在电极上成膜后,再在图案化时被从电极上除去,但是电极表面对墨液的涂布性根据感光性树脂组合物的种类而变化。因此,根据感光性树脂组合物的种类而供给到电极上的墨液有时难以在电极上涂展开,对于墨液在隔壁开口内的电极上的涂展而言,以往提出的感光性树脂组合物有时未必充分满足要求。因此,本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物,其使涂布于在图案形成后得到的电极上的墨液在隔壁开口内部整个面的涂布展开性良好。
本发明提供以下的[1]~[12]。
[1]一种感光性树脂组合物,
在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜,接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口,形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。
[2]如[1]所述的感光性树脂组合物,其中,所述感光性树脂组合物包含下述(A)、(B)和(C),
(A)具有包含下述式[i]所示的基团的结构单元的树脂
(式[i]中,R1、R2、R3、R4和R5分别独立地表示-OH、-SH、-COOH、-CHO、氢原子、卤素原子、碳原子数1~3的烷基、-COR7、-COOR7、-OCOR7或-OR7,R1、R2、R3、R4和R5中的至少1个为-OH、-SH、-COOH或-CHO。R7表示碳原子数1~8的烷基、碳原子数2~5的烷氧基烷基、芳基或苄基。)
(B)聚合性化合物
(C)聚合引发剂
[3]如[2]所述的感光性树脂组合物,其中,所述结构单元由下述式[ii]表示。
(式[ii]中,R1、R2、R3、R4和R5表示与前述相同的含义,R6表示氢原子、甲基或乙基。)
[4]如[2]或[3]所述的感光性树脂组合物,其中,所述聚合引发剂为光聚合引发剂,所述聚合性化合物通过自由基聚合进行聚合。
[5]如[2]~[4]中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个为-COOH或-OH,其他为氢原子。
[6]如[1]~[5]中任一项所述的感光性树脂组合物,其还含有疏液剂。
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