[发明专利]硅-玻璃混合插入层电路有效
申请号: | 201510086780.0 | 申请日: | 2015-02-25 |
公开(公告)号: | CN104867892B | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | M·沈 | 申请(专利权)人: | 阿尔特拉公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/538;H01L21/48 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及硅‑玻璃混合插入层电路。提供了一种插入层。该插入层包括硅基板层、玻璃基板层和至少一个贯通插入层通孔。在玻璃基板层的顶部上形成硅基板层。插入层也可以被称为混合插入层,因为它包括两种不同类型的基板层,它们形成了一个插入层。贯通插入层通孔被形成为穿过硅基板层和玻璃基板层。插入层可以用于形成集成电路封装。集成电路封装包括安装在插入层上的多个集成电路。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 混合 插入 电路 | ||
【主权项】:
1.一种插入层,其包括:具有第一表面和第二表面的半导体层,其中在所述半导体层的所述第一表面上形成多个互连布线层;具有第一表面和第二表面的玻璃层,其中所述玻璃层的所述第一表面物理附连到所述半导体层的所述第二表面;以及贯通插入层通孔,其是穿过所述半导体层、所述玻璃层和所述多个互连布线层同时形成的。
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