[发明专利]一种基板及用于对其进行退火的退火方法、退火设备

摘要

本发明公开了一种基板及用于对其进行退火的退火方法、退火设备，涉及显示技术领域，能够进一步改善薄膜晶体管阈值电压漂移的现象。本发明实施例提供的基板包括衬底基板和位于所述衬底基板上的栅线和薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的有源层的材质为氧化物半导体，所述薄膜晶体管的栅极电连接所述栅线，所述基板还包括至少一个栅极信号输入端子，所述栅极信号输入端子电连接所述栅线。本发明实施例还提供了一种基板的退火方法和退火设备。

主权项

1.一种基板，包括衬底基板和位于所述衬底基板上的栅线和薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的有源层的材质为氧化物半导体，所述薄膜晶体管的栅极电连接所述栅线，其特征在于，所述基板还包括至少一个栅极信号输入端子，所述栅极信号输入端子在所述基板进行退火时电连接所述栅线，并向所述栅极信号输入端子输入栅极信号，使所述薄膜晶体管的有源层中的缺陷向有源层与栅极绝缘层之间的界面处移动。