[发明专利]具有非晶二氧化硅中间过渡层的金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有非晶二氧化硅中间过渡层的金刚石薄膜的制备方法，所述方法以硬质合金为衬底，以含硅有机大分子前驱体裂解为手段，首先在衬底表面得到非晶二氧化硅中间过渡层薄膜；然后采用化学气相沉积法为制备手段，在非晶二氧化硅中间过渡层表面原位沉积制备微米金刚石薄膜。本发明制备的非晶二氧化硅中间过渡层可以改善两步法预处理后硬质合金的粗化表面形貌，能够增强金刚石薄膜与硬质合金衬底间附着力，同时降低金刚石薄膜的表面粗糙度，改善金刚石薄膜的摩擦磨损性能，从而提高金刚石涂层刀具的使用寿命和切削性能。

主权项

一种具有非晶二氧化硅中间过渡层的金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：A、对硬质合金衬底采用两步预处理方法，使硬质合金衬底表面得到粗化并去除粘结钴相；B、应用前驱体裂解法对经过所述步骤A预处理后的硬质合金衬底进行非晶二氧化硅中间过渡层的沉积，获得非晶二氧化硅薄膜，即所述非晶二氧化硅中间过渡层；C、采用热丝化学气相沉积法在所述非晶二氧化硅中间过渡层表面原位沉积微米金刚石薄膜，以获得晶形完整的微米金刚石薄膜。