[发明专利]一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法有效
申请号: | 201510043662.1 | 申请日: | 2015-01-29 |
公开(公告)号: | CN104651935B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 周森安;郭进武;李建国;郑传涛;王可 | 申请(专利权)人: | 洛阳西格马炉业股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 苗强 |
地址: | 471000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法,根据温度由高到低的梯次变化将晶体生长炉内部分为四个温度区,分别为由加热体加热的高温区、坩埚内氧化铝熔体的熔体温区、籽晶棒上所生长晶体与熔体接触的界面温区和用冷气降温的低温区;晶体生长过程中,通过控制坩埚的上升速度以及籽晶棒的上升速度以使坩埚中氧化铝熔体的液面与高温区和低温区的分隔板高度始终保持一致。本发明将炉体内分隔成四个温度区,通过对四个温度区的温度监控并进行调节,以使其具有最佳的温度梯度,从而准确控制固液界面温度,提高晶体生长的最佳热场方式,进而找到晶体生长最佳途径,以利于提高晶体生长速度和晶体生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 上升 法制 品质 蓝宝石 晶体 方法 | ||
【主权项】:
一种坩埚上升法制备高品质蓝宝石晶体的方法,其特征在于:根据温度由高到低的梯次变化将晶体生长炉内部分为四个温度区,分别为由加热体加热的高温区、坩埚内氧化铝熔体的熔体温区、籽晶棒上所生长晶体与熔体接触的界面温区和用冷气降温的低温区,所述高温区和低温区之间通过钼制或钨制分隔板隔开,可提升的坩埚穿过分隔板并介于高温区和低温区之间,以使籽晶棒和氧化铝熔体分别处于分隔板的上部和下部;晶体生长过程中,通过控制坩埚的上升速度以及籽晶棒的上升速度以使坩埚中氧化铝熔体的液面与高温区和低温区的分隔板高度始终保持一致。
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