[发明专利]掩膜板及其制备方法和显示面板中封框胶的固化方法在审
| 申请号: | 201510020570.1 | 申请日: | 2015-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN104503203A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 张治超;郭总杰;刘正;张小祥;陈曦;刘明悬 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42;G03F1/54;G03F7/00;G02F1/1339 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种掩膜板及其制备方法和显示面板中封框胶的固化方法,其中该掩膜板包括:透明基板和位于透明基板上的对位标识,对位标识用于将掩膜板与待紫外固化处理的显示面板进行对位,对位标识的材料为感光树脂。本发明的技术方案通过将掩膜板中对位标识的材料设置为感光树脂,从而在制备该由感光树脂构成的对位标识时,仅需经过感光树脂薄膜涂覆工序、曝光工序和显影工序即可完成对位标识的制备。与现有技术相比,本发明的技术方案可省去金属材料沉积工序、刻蚀工序和光刻胶剥离工序,即本发明技术方案可使得制备对位标识过程中所需要的工序数量减少,简化制作掩膜板的工艺流程,节省成本。 | ||
| 搜索关键词: | 掩膜板 及其 制备 方法 显示 面板 中封 固化 | ||
【主权项】:
一种掩膜板,包括:透明基板和位于所述透明基板上的对位标识,所述对位标识用于将所述掩膜板与待紫外固化处理的显示面板进行对位,其特征在于,所述对位标识的材料为感光树脂。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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